當廢氣進(jin)入等離(li)子光解一體機(ji)凈化(hua)設備內時，先經過(guo)等離(li)子體化(hua)學(xue)(xue)反應(ying)過(guo)程(cheng)，即電(dian)子先從(cong)電(dian)場獲得能(neng)量(liang)(liang)，通過(guo)激(ji)發(fa)或電(dian)離(li)將能(neng)量(liang)(liang)轉(zhuan)移到分子或原子中去，獲得能(neng)量(liang)(liang)的(de)分子或原子被激(ji)發(fa)，同時有(you)(you)部分分子被電(dian)離(li)，從(cong)而(er)成(cheng)為(wei)(wei)活性(xing)基(ji)團；之后這(zhe)些(xie)活性(xing)基(ji)團與分子或原子、活性(xing)基(ji)團與活性(xing)基(ji)團之間相互碰撞后生(sheng)成(cheng)穩定產(chan)物(wu)(wu)和熱。(在(zai)外加電(dian)場的(de)作用下，介(jie)質(zhi)放電(dian)產(chan)生(sheng)的(de)大量(liang)(liang)攜能(neng)電(dian)子轟(hong)擊污(wu)染(ran)(ran)物(wu)(wu)分子，使其電(dian)離(li)、解離(li)和激(ji)發(fa)，然后便引發(fa)了一系列復雜(za)的(de)物(wu)(wu)理、化(hua)學(xue)(xue)反應(ying)，使復雜(za)大分子污(wu)染(ran)(ran)物(wu)(wu)轉(zhuan)變為(wei)(wei)簡單(dan)小(xiao)分子物(wu)(wu)質(zhi)，或使有(you)(you)毒(du)有(you)(you)害(hai)物(wu)(wu)質(zhi)轉(zhuan)變成(cheng)無毒(du)無害(hai)或低毒(du)低害(hai)的(de)物(wu)(wu)質(zhi)，從(cong)而(er)使污(wu)染(ran)(ran)物(wu)(wu)得以降解去除。